半導體業界導向
單一通路 L40 系列
■概念
・此迴轉接頭為半導體業導向,對於提供純水・藥液的主流路使用非金屬材料,
極力減低往流體內溶出的金屬離子。
■特徵
・主流路使用非金屬材料,極力減低往流體內溶出的金屬離子。
■流体
・純水,藥液等 (其他流體請洽談)
■使用條件
壓力(MPa) | 轉速 (min-1) | 通路數 | |
---|---|---|---|
L40 | 1 | 600 | 1 |
多通路 MFES 系列
■概念
・此迴轉接頭也是半導體界導向,接觸液體部位使用非金屬材料
和進行塗覆以減少金屬離子往流體內溶出的結構。
■特徵
・接觸液體部位使用非金屬材料和進行塗覆以減少金屬離子往流體內溶出的結構。
■流體
・純水,空氣,真空,漿液 (其他流體請洽談)
■使用條件
壓力(MPa) | 轉速 (min-1) | 通路數 | |
---|---|---|---|
MFES | 1 | 200 | 2~ |
※半導體業界導向迴轉接頭為訂製品。
規格相關問題請洽談。
產品情報
Rotary Joint
(迴轉接頭)
- 水/熱水用高速型(一般產業機械導向) LC型
- 高溫用高速型(一般產業機械業界導向) LCH型
- 半導體業界導向
- 間隙密封MFC型 MFC型
- 多通路迴轉接頭 MF型
- 橡膠・輪胎行業導向 NB型
- 造紙業導向 V型
- 鋼鐵業界(連續鑄造設備)導向 CB型
- 鋼鐵業界(連續鑄造設備)導向 J型
- 主軸中心出水用 高壓・高轉速型 ESX20V-L系列
- 主軸中心出水用 高壓・高轉速型 ESX20M-L系列
- 主軸中心出水用 中空電機對應 ESX20M-S,E系列
- 主軸中心出水用 中空電機對應 ESX20M-T系列
- 主軸中心出水用 軸承內藏型 LX84V,86V系列
- 主軸中心出水用 軸承內藏型 LX84M,86M系列
- 主軸中心出水用 軸承內藏型 LX88V系列
- 車床卡盤用1通路型 LA1P系列
- 車床卡盤用2通路型 EES-2P03
- 滾珠螺桿新軸冷卻用機械密封型 ES50系列