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半導體業界導向

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單一通路 L40 系列

純水及藥液供給用

■概念
此迴轉接頭為半導體業導向,對於提供純水・藥液的主流路使用非金屬材料,
    極力減低往流體內溶出的金屬離子。

■特徵
・主流路使用非金屬材料,極力減低往流體內溶出的金屬離子。

■流体
・純水,藥液等 (其他流體請洽談)

■使用條件

  壓力(MPa) 轉速 (min-1) 通路數
  L40 1 600 1

多通路 MFES 系列

CMP及研磨用

■概念
・此迴轉接頭也是半導體界導向,接觸液體部位使用非金屬材料
    和進行塗覆以減少金屬離子往流體內溶出的結構。

■特徵
・接觸液體部位使用非金屬材料和進行塗覆以減少金屬離子往流體內溶出的結構。

■流體
・純水,空氣,真空,漿液 (其他流體請洽談)

■使用條件

  壓力(MPa) 轉速 (min-1) 通路數
  MFES 1 200 2~

※半導體業界導向迴轉接頭為訂製品。

 規格相關問題請洽談。

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